沸点(101.325kPa压力下):31.8℃。
熔点(101.325kPa):-134℃液体密度(0℃):1350kg/m3相对密度(气体，空气=1):4.7蒸气压(-16.4℃):13.3kPa(14.5℃):53.3kPa燃点:-14℃自燃点:104.4℃闪点:-27.8℃爆炸极限:1.2~90.5%毒性级别:3易燃性级别:4易爆性级别:2
三氯硅烷在常温常压下为具有刺激性氯化氢气味易流动易挥发的无色透明液体。在空气中极易燃烧，在-18℃以下也有着火的危险，遇明火则强烈燃烧，燃烧时发出红色火焰和白色烟，生成和Cl2。
