1、弹簧破损，对旋转片施力使其不均匀。
2、组装不当，对某局部加力。
3、吸气口的过滤器丢失或破损，外部的污垢、金属屑、玻璃屑等掉落到泵室内。
4、螺杆真空泵的转子、叶片端面和端盖之间的间隙过小，摩擦发热导致叶片伸长或过热摩擦和叶片硬度过大，与毛刺相互挤压，使端面产生深深的伤痕，烧结后卡死。
5、如果轴和套筒过紧，润滑油路会更加不顺畅，由于相互的粘合，泵无法长时间使用，在泵室内会生锈。
6、泵在湿度大的环境下运行，或排出潮湿的气体，使泵油成为乳浊液或泵油的水垢，或泵油粘度过大，在转子启动的瞬间破裂。
7、有些泵的高度、低真空室的气道上有半圆槽，被压在其上的橡胶板被压得很紧，中间的气道通道被堵塞等，容易堵塞泵。
