真空炉(vacuum furnace)是真空环境中进行加热的设备。在金属罩壳或石英玻璃罩密封的炉膛中用管道与高真空泵系统联接。炉膛真空度可达133×(10-2～10-4)h。炉内加热系统可直接用电阻炉丝(如钨丝)通电加热，也可用高频感应加热。高温度可达3000℃左右。
在真空加热炉中，为了防止工件的高蒸汽压金属元素在真空加热阶段挥发，一般都会采用通入惰性气体提高总炉压，传统真空加热炉采用针阀加电磁阀通断、以及罗茨泵的变频实现压力调整，这种做法使得真空炉内炉压波动大，分压调整的范围受针阀的开启量影响，不能实现大范围、精准的分压控制。
