cvd薄膜工艺应用领域与前景

cvd薄膜工艺应用领域与前景

cvd薄膜工艺前景很好。

1、cvd薄膜工艺不仅应用于刀具材料、耐磨耐热耐腐蚀材料、宇航工业的特殊复合材料、原子反应堆材料及生物医用材料等领域,而且被广泛应用于制备与合成各种粉体材料、块体材料、新晶体材料、陶瓷纤维及金刚石薄膜等。

2、cvd薄膜工艺在作为大规模集成电路技术的铁电材料、绝缘材料、磁性材料、光电子材料的薄膜制备技术方面,也是不可或缺的。