臭氧氧化法脱硝主要是利用臭氧的强氧化性，将不可溶的低价态氮氧化物氧化为可溶的高价态氮氧化物，然后在洗涤塔内通过冷却、喷淋最终将氮氧化物吸收，达到脱除的目的。与SO2等气体相比，NOx可以很快被臭氧氧化，确定O3与NO最佳摩尔比是选型的依据，O3对于NOx复杂的氧化反应过程，实际上最后通过N的价态变化体现出来
