vn电子束焊设备的真空测量tv
用以定量地得知低压空间气
体稀薄程度（即真空度)所用的测量
仪器称真空计。
目前真空计的种类繁多。从
不同角度出发、有不同的分类方
法。一般按真空计的刻度方法可
分为。
绝对真空计——根据真空计
本身与压力有关的物理量直接计
算出压力值的真空计。如压缩式
真空计（或称麦氏真空计）、热辐
射真空计等。
相对真空计——通过与压力
有关的物理量间接测量、不能通
过计算进行刻度，必须与绝对真
空计相比较进行刻度的真空计。
如热传导真空计、电离真空计
等。
根据真空测量的特点，对电
子束焊机中的真空计有以下几点
要求
1、量程要宽。由于电子束焊
机中真空度范围较宽、如果真空
计的量程宽些，则给测量工作带
来很大方便。
2、要有足够的精度。由于真
空测量不可能象其它测量那样有
很高的精度，误差较大，对电子
束焊机中的真空测量来讲，一般
要求真空计的相对误差20%就
可以了。
3、能连续测量、反应迅速。
以便能实现真空系统的自动控
制。
4、对外界条件(如温度、振
动、电磁场)不敏感。
现对电子束焊机中常用的几
种真空计的使用特点介绍如下。
1、压缩式真空计。压缩式真
空计也称为麦克劳真空计(麦式真
空计）。一般测量范围为1.33×10
—1.33×10—2Pa，其结构形式还
有宽量程、双管式和旋转式等区
别。
2、热传导真空计。是利用气
体分子的热传导在某一压力范围
内与气体压力成正比关系的原理
制成的，因此根据热传导的变化
就能反映出压力的变化。
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热传导真空计又分为电阻~真
空计和热电偶真空计两种形式。
这两种真空计的测量范围一般为
1、33×102 1.33×10—2Pa左右、
其特点是两种真空计都属于相对
真空计。可以连续测量、但受环
境影响较大。
3、电离真空计。对低于
1、33×10-1Pa的低压测量时、通
常采用电离真空计。由于电离源
不同、又可分为热阴极、冷阴极
和放射性电离真空计。
(1)热阴极电离真空计、其测
量范围为1.33×10-1~1.33×10-
6Pa、可以连续测量。属于相对真
空计。该真空计使用时应该注意
的是。由于有热阴极存在。就有
吸气放气现象产生而影响测量的
准确性。而且在压力高于
1、33×10-1Pa时不能进行测量
否则阴极就要被烧坏。
~(2)冷阴极电离真空计。这
种真
