上海5nm光刻机比荷兰的奥斯麦好吗

不可能比国外的技术要好。

准确的说，光刻机国外的技术相对成熟，可能产品比较稳定，整体的技术方面应该好一些。可能国产的光刻机，质量相对要差一些。