1、激光器发出的光束被需处理材料表面上的污染层所吸收
2、大能量的吸收形成急剧膨胀的等离子体（高度电离的不稳定气体），产生冲击波
3、冲击波使污染物变成碎片并被剔除
4、光脉冲宽度必须足够短，以避免使被处理表面遭到破坏的热积累
5、实验表明当金属表面上有氧化物时，等离子体产生于金属表面激光清洗机主要是基于物体表面污染物吸收激光能量后，或汽化挥发，或瞬间受热膨胀而克服表面对粒子的吸附力，使其脱离物体表面，进而达到清洗的目的。
本质上金属材料锈蚀激光清洗属于物理去除，主要是通过锈层汽化、锈层与基体存在温度梯度诱导界面处产生热应力、锈层间隙的气相或液相受热产生膨胀力等共同作用下，汽化分解和间隙相膨胀破裂交替进行，锈层厚度逐渐减小，最终实现清除锈蚀效果。
激光清洗锈蚀是利用高能激光束照射工件表面，使表面的污物、锈斑或涂层发生瞬间蒸发或剥离，高速有效地清除清洁对象表面附着物或表面涂层，从而达到洁净的工艺过程。
