氦质谱检漏仪里有1. 检漏仪专用分子泵2. 机械泵或者干泵3. 定制检漏仪专用电磁阀4. 内置标准漏口5. 放大器6. 采用质谱专用模块。氦质谱检漏仪是用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。
